박막트랜지스터배향원

액정 분자를 일정한 방향으로 배열시키는 배향막 형성을 위해 초기 세정된 컬러필터와 TFT를 이동시킨다.배향막 인쇄기기의 오퍼레이션 파라미터에 용해액 점도, 스핀속도, 스핀시간, 스핀단계 등을 입력한다.기기를 작동해 스테이지가 좌우로 이동하면서 그 위에 있는 컬러필터와 TFT 기판 위에 롤러가 회전하면서 배향막을 인쇄하고 롤러와 맞닿는 부분에 일정한 방향성을 부여하도록 한다.인쇄작업이 끝나면 소성작업을 위해 큐어링오븐(Curing Oven)의 오퍼레이팅 파라미터에 건조온도 및 시간, 경화온도 및 시간을 입력한다.이때 얼룩방지를 위한 균일한 온도를 유지하고 세팅온도를 확인한다.오븐을 작동시켜 핫플레이트 위의 글라스에 도포된 폴리아믹산(Poly Amic Acid) 박막을 경화시켜 폴리이미드(Polyimide) 배향막을 형성한다.경화가 완료되면 다음 공정인 러빙공정으로 컬러필터와 TFT를 이동시킨다.