플라즈마영상패널스퍼터장비조작원

세정을 마친 상판용 투명글라스(보통 고왜점 글라스, high strain glass)를 ITO 코팅시키기 위해 이동시킨다.스퍼터장비의 컴퓨터를 조작하여 기판을 예열하고 스퍼터링을 시작한다.방전전극으로 사용되는 투명전극(ITO)를 생성하기 위하여 투명전도층인 인듐(Sn), 주석(Sn) 산화물을 스퍼터링법으로 코팅을 한다.연속적으로 글라스를 통과시키거나(인라인방식) 각각의 챔버에 글라스를 이송하여 독립적으로 공정을 진행한다(클러스터 방식).감광물질인 DFR(Dry Film Photoresist)을 마스크로 이용해 산으로 화학적 식각을 한 후 노광, 현상, 에칭, 박리, 검사 등으로 ITO 패터닝(Patterning) 과정을 거친다.ITO 전극이 형성되면 BUS 전극의 형성을 위해 다음 공정으로 이동시킨다.