반도체가스재료개발연구원

반도체 식각, 이온주입, 확산, 화학기상증착 및 가스재료 공정연구원과 공동으로 재료개발목표를 수립하고, 소재, 공정, 장치 및 장비기술 연구·개발활동을 관리한다.국내외 학회, 세미나, 연구기관 및 제조업체로부터 획득한 정보 및 제품을 기반으로 다양한 가스재료를 분석, 시험평가, 검증하고, 최적화하는 연구·개발활동을 관리한다.가스재료 개발과정에는 내부 및 고객사 생산라인 응용에서 최고의 품질 및 생산성을 고려한 재료기술을 연구·개발한다.