나노소자공정개발원

나노소자구조에 대한 적합한 공정사양을 선정한다.소자구조에 적합한 공정의 핵심사항을 개발 및 결정한다.나노소자의 사양, 구조 및 설계에 적합한 공정을 개발한다.인적, 물적 자원을 활용하여 나노소자 생산계획을 수립한다.공정조건에 맞추어 효율적으로 제품을 생산하고 결과를 검사한다.기존 소자공정의 효율성을 높이기 위한 주요사항을 개선한다.공정 및 소자성능을 유지·관리한다.공정장비의 기능을 숙지한다.각 공정흐름도(Process Flow)를 파악한다.공정환경을 관리하고 기록한다.공정·검사매뉴얼을 개선하고 공정장비의 기능을 향상한다.새로운 나노소자에 대한 공정검사매뉴얼을 제작하고 공정, 장비의 기능을 설계한다.나노소자 대량생산을 위한 스케일업(Scale-Up) 공정을 검토한다.