나노장비개발원

개발하는 장비에 따라 나노소재 및 나노소자의 기본요소를 합성, 증착 및 패터닝하는 공정기술 및 이에 관련된 물성, 소자특성 측정기술 등 나노제품 생산공정·장비기술을 연구한다.개발할 장비의 사양을 고객(개발진)과 협의하여 선정한다.설계도구를 활용하여 생산할 생산장비의 외형을 작성한다.전기장치 및 제어프로그램을 구성하고 도면을 작성한다.생산장비의 사양이 반영된 모의구성을 설계한다.세부구조를 설계하고 분석한다.총괄구조를 설계하고 분석한다.장비의 종류에 따라 나노공정 및 장비(나노박막 증착, 나노선 합성, 나노점 합성), 나노기반 공정 (나노패터닝, 나노식각, 저가 대면적 공정, 자기조립 기반 공정 등), 나노소재 측정분석(나노 화학구조분석, 나노 광학특성분석, 나노 전기적 특성분석, 나노역학 특성분석 등)장비 등을 개발한다.